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呈褐色块状或柱状开发之加TS--ェート系列抗反射材料，折射率受真空度，蒸发速率，氧气压力的影响很大，蒸镀时不加氧或加氧不充分时，制备薄膜会产生吸收现象，但是我们在实际应用时没有加氧也比较好用.二氧化锆名称：二氧化锆（ZrO2）ZrO2具有坚硬，结实及不均匀之特性，该薄膜有是需要烘干以便除去它的吸收，其材料的纯度及为重要，纯度不够薄膜通常缺乏整体致密性，它得益于适当使用IAD来增大它的折射率到疏松值以便克服它的不均匀性.纯度达到99.99%基本上解决了以上的问题.SAINTY等人成功地使用ZRO2作为铝膜和银膜的保护膜，该膜层（指ZRO2）是在室温基板上使用700EV氩离子助镀而得到的.一般为白色柱状或块状，蒸发分子为ZRO，O2.

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